东北网3月22日电 近日，由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统(简称为MEMS)组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定。

　　微电子机械系统在航空航天、石油化工、水电、冶金制造、锅炉、控制等领域都有广泛的应用，还可以用在计算器、手机等各种电子器件中。MEMS产品已经渐渐成为机械的高级维护系统、微型工厂、人体管腔诊断和检查系统的主流产品。

　　据悉，该项研究成果在系统集成、显微视觉、微作业工具、微操作作业策略等关键技术方面达到国际先进水平；填补了国内外MEMS领域相关设备空白，体现了自主创新。